Systemy odwróconej osmozy półprzewodników: podstawowa rola w przygotowaniu wody o wysokiej czystości dla przemysłu mikroelektronicznego

Produkcja półprzewodników jest procesem przemysłowym wymagającym ekstremalnej precyzji, z polegającymi na ultraczystej wodzie obejmującej etapy rdzeniowe, takie jak czyszczenie opłat, fotolitografia, trawienie i chemiczna planie mechaniczne (CMP) . Systemy wodne o wysokiej czystości dla przemysłu mikroelektronicznego muszą spełniać rygorystyczne kryteria rygorystyczne, w tym oporność większa niż 18 do równości 18 Mω} CM i sumie i suma i sortownia mikroelektroniki. Węgiel organiczny (TOC) mniejszy lub równy 1 ppb . Wszelkie jony resztkowe lub cząsteczki mogą zmniejszyć wydajność układów. Wykorzystując swoją globalnie wiodącą technologię membran ceramicznych i proces całej męki, dostawca ochrony środowiska Taihees wysoce stabilne rozwiązania dlapółprzewodnikowy system osmozyS, skutecznie obsługujący bezpieczeństwo jakości wody w krajowych łańcuchach dostaw półprzewodników .

Podstawowa technologia Taihe-„All-Membrane proces leczenia koncentratu odwróconej osmozy i krążących ścieków”-był certyfikowany przez China Membrane Industry Association jako „poziomy zaawansowane na międzynarodowo” . Technologia ta zatrudnia wyspecjalizowane rurowe ceramiczne błonę ultrafiltracyjną (GM). Ultrafiltration ") W jednym procesie, znacznie upraszczając przepływy pracy, jednocześnie zwiększając możliwości przeciwgełniania . membrany ceramiczne, wytworzone z nanokompozytów, wykazują odporność na zanieczyszczenie, silna tolerancja alkaliczna i wysoki przepływ . w ultrapurze wodnej, one zasadniczo zmniejszają koszty działania i zmniejszają wyprzedaż i zmniejszają wyprawę epu. Twardość .

- Czyszczenie opłat i CMP:System odwróconej osmozy w wodę ultra-pure musi całkowicie usunąć cząstki i jony metali, aby zapobiec defektom powierzchni wafli . ceramiczna membrana Taihe, zapewniająca woda zasilająca wskaźnik podkładu SDI (Silt Index indeks gęstości). Operacja membrany.

- Płukanie fotoserystyczne:Fotolitografia jest bardzo wrażliwa na TOC . System Taihe Synergizuje błony ceramiczne przy użyciu sterylizacji ultrafioletowej w celu kontrolowania TOC w ciągu 1 ppb, spełniając wymóg „zerowej tolerancji” dla organicznych w płukaniu fotooretyzmów .}

- Etching & CMP Matters Reuse:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1200 mg/l przy 95% wskaźnikach odzysku, drastycznie zmniejszając zużycie słodkiej wody .

TAIHE integruje DCS (rozproszony system kontroli) na dużą skalę zintegrowane systemy sterowania z ultraperalnym systemem oczyszczania wody, umożliwiając monitorowanie parametrów jakości wody i optymalizacji energii . jego „proces w całej masowej emisji w zakresie przetwarzania w celu ponownego użycia wody” został wymieniony w potrzebach rozbieżności w sedno. W sektorze półprzewodnikowym .

Wniosek

Jako zaawansowane procesy (e . g ., 5nm, 3nm) eskaluj wymagania dotyczące jakości wody,półprzewodnikowy system osmozyS musi stale przekraczać granice czystości . na budynku „zaawansowaną na całym świecie” technologię błony ceramicznej, Taihe przyspiesza R&D w ceramicznych błonach o wysokiej zawartości prądu o wysokiej strukturze innowacji w celu przeniesienia się do elektronicznych aplikacji wodnych, a dalsze uproszczenie łańcucha dostawców, lodowcowe, będą innowacyjne chińskie, przebiegłe w chińskich zastosowaniach dostawczy Ustanowienie bardziej niezawodnych, niższych testów technologicznych dla systemów wodnych o dużej czystości dla przemysłu mikroelektroniki .